氣動增壓泵級連及故障分析
氣動增壓泵級連及故障分析
申承志 馬培圣
【摘要】：基于實際應用,介紹了氣動增壓泵原理和級連方法。總結了對增壓泵的維修經驗,闡述了缺少進口增壓泵維修資料的現狀。分析了增壓泵的常見故障和一些特殊故障。采用觀測方法測試了增壓泵1的P1口壓強和增壓泵2的換向閥右端壓強。給出了增壓泵1不受控的原因和增壓泵2停止不動的原因。指出今后的發展方向主要集在提高可靠性和小型化上。結果表明,如果有備件,進口增壓泵可以做到現場維修,從而提高維修速率和設備完好率。 【作者單位】： 中國電子科技集團公司第十三研究所;
【關鍵詞】： 氣動增壓泵 級連 維修 故障分析 壓縮空氣 換向閥 氣體壓強 控制閥 工作頻率 增壓缸 引言
氣動增壓泵結構緊湊、增壓比高、無油、無需電驅動[1],因此某些半導體設備使用了增壓泵。在要求氣量大、壓強高的情況下,氣動增壓泵有著明顯的優勢。如果使用氣瓶,氣瓶里的氣體會很快用光,換氣瓶成了一件麻煩的事情。有些設備要求增壓泵對去離子水等液體進行增壓,然后讓高壓液體噴射出來，對Si片等進行清洗。 氣動增壓泵一旦出現故障，該設備就不能使用了。這些設備大多用的是進口氣動增壓泵，要購買新泵介格高、周期長，因此有必要介紹氣動增壓泵原理入故障分析，提高對增壓泵的維修水平。
【摘要】：基于實際應用,介紹了氣動增壓泵原理和級連方法。總結了對增壓泵的維修經驗,闡述了缺少進口增壓泵維修資料的現狀。分析了增壓泵的常見故障和一些特殊故障。采用觀測方法測試了增壓泵1的P1口壓強和增壓泵2的換向閥右端壓強。給出了增壓泵1不受控的原因和增壓泵2停止不動的原因。指出今后的發展方向主要集在提高可靠性和小型化上。結果表明,如果有備件,進口增壓泵可以做到現場維修,從而提高維修速率和設備完好率。 【作者單位】： 中國電子科技集團公司第十三研究所
氣動增壓泵原理和特點 氣動增壓泵可分為氣動氣體增壓泵和氣動液體增壓泵，它們具有許多的共性，但是也有一些差別，比如它們的單向閥結構不一樣，氣體和液體的可壓縮性不同，另外氣動液體增壓泵的增壓缸活塞常使用柱塞。在這里只對氣動氣體增壓泵進行討論。它的理論增壓比是驅動缸活塞面積S1：增壓缸活塞面積S2，實際增壓比能達40：1，但是在工業應用中推薦10：1或更少的壓縮比。 更多“氣動增壓泵級連及故障分析”請閱讀作者原文。
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發布時間：
2015-01-15
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